羅茨真(zhēn)空泵的工作原理
時間:2010-11-14 09:15 作者:北弘泵業(yè)
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似.由(yóu)於轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣(qì)口吸入到轉子與泵(bèng)殼之間的空間v0 內,再經排氣口排出.
在泵腔內,有二個(gè)"8"字(zì)形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由於羅茨泵是一種無內壓縮(suō)的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空(kōng)泵需要前級泵。羅茨泵的極(jí)限真空除取決於泵本身結構(gòu)和製造精度外,還取決於前級泵的極限真空。為了提(tí)高泵的極(jí)限真(zhēn)空(kōng)度(dù),可將羅茨泵串聯使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由於轉子的(de)不斷旋轉,被抽(chōu)氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間(jiān)v0 內,再經排(pái)氣口排出。由於吸氣後v0空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有(yǒu)壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由(yóu)於排氣側氣體壓強較高,則(zé)有一(yī)部分氣體返衝到空間V0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉子繼續轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。
羅茨泵的工作原理既具有容積泵(bèng)的工作(zuò)原理,又有(yǒu)分子(zǐ)泵的抽氣效應。由於轉子的連(lián)續旋轉,被抽氣體從泵(bèng)進氣口吸入到下轉子與泵殼之(zhī)間的空間 V0 內,吸氣後 V0 空間是全(quán)封閉狀態。隨著轉子的轉動,封閉的 V0 空間與排(pái)氣口(kǒu)相通,由於排氣側氣體壓力較高,引起一部分氣體反衝過來,使 V0 空間內的氣體(tǐ)壓(yā)力突然增高。當轉子繼續轉動時, V0 空間(jiān)內原來封(fēng)入的氣體連同反衝的氣體一起被排向(xiàng)泵外。這時,上轉(zhuǎn)子又從泵入口封入 V0 體積的氣體。由於泵的連續運轉,使兩個轉子不停地形成封閉空間 V0 又(yòu)不停地將封閉空間璣內的氣體排出泵外,從而實現了抽氣的(de)目的。